電子工業(yè)潔凈室（廠房、車間）所要求的基本空氣潔凈度級(jí)別如芯片制造ISO要求空氣潔凈度各個(gè)工藝環(huán)節(jié)略有不同，氧化、擴(kuò)散、清晰、刻蝕、離子注入、CMP等ISO要求達(dá)2~5級(jí)，控制粒徑0.1~0.5μm，光刻工藝要求達(dá)到1~4級(jí)，控制粒徑在0.1~0.3μm。

電子工業(yè)潔凈用房大而多變，幾千平方米，上萬平米的面積并不少見。電子工業(yè)的技術(shù)更新快，工藝變了，平面布局就要跟著變，因此平面不宜有固定的分隔，特別是很小的分隔。

具體來說有以下一些獨(dú)特之處應(yīng)加注意：

電子工業(yè)潔凈廠房的工藝布局應(yīng)適應(yīng)電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。

主體結(jié)構(gòu)適宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不宜采用內(nèi)墻承重體系。

大型電子工業(yè)潔凈廠房常采用上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層這種“夾心”式多層構(gòu)造。

應(yīng)考慮大型生產(chǎn)工藝設(shè)備的安裝、維修要求，設(shè)置必要的運(yùn)輸通道和不影響潔凈生產(chǎn)環(huán)境的安裝口或檢修口。

電子工業(yè)潔凈室按二級(jí)耐火等級(jí)設(shè)計(jì)。

特種氣體的儲(chǔ)存和分配間應(yīng)有耐火隔墻與潔凈室（區(qū)）分開，該墻耐火極限不低于1h。有毒的硅烷或其混合物氣瓶儲(chǔ)存區(qū)至少三面是敞開的，氣瓶與周圍構(gòu)筑物或圍欄之間的距離應(yīng)大于3m，儲(chǔ)存區(qū)設(shè)置的雨篷應(yīng)不低于3.5m。

電子工業(yè)潔凈室的裝飾材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。

電子工業(yè)潔凈室允許設(shè)空氣風(fēng)淋室，這是和一般生物潔凈室不同的。風(fēng)淋室應(yīng)與潔凈工作服更衣室相鄰。單人風(fēng)淋室按最大班人數(shù)為30人一間設(shè)計(jì)，當(dāng)工作人員超過5人時(shí)，應(yīng)設(shè)旁通門，當(dāng)人數(shù)太多或?yàn)榱丝s短通過時(shí)間，也可設(shè)隧道式吹淋室。

高級(jí)別潔凈室，為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性照明燈具宜采用所謂淚珠形燈具。

電子工業(yè)潔凈室常根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置防靜電環(huán)境，以便抑制靜電的產(chǎn)生，將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全地排除。

為此，在設(shè)計(jì)時(shí)首先要明確控制的靜電電位（絕對值），該值<100V為一級(jí)，<200V為二級(jí)，<1000V為三級(jí)（據(jù)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》），其適用場所分別是半導(dǎo)體器件、集成電路和具有一級(jí)靜電敏感的電子產(chǎn)品制造和測試場所；對靜電敏感的精密電子儀器和器件制造和測試場所；除去一、二級(jí)以外的電子器件和整機(jī)的組裝調(diào)試場所。